ナノ微粒子製造法と利用技術  炭素超微粒子の静電加速を利用するダイヤモンド状カーボン膜(DLC膜)形成法

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J-GLOBAL ID：200902139480303229 整理番号：02A0226490

ナノ微粒子製造法と利用技術炭素超微粒子の静電加速を利用するダイヤモンド状カーボン膜(DLC膜)形成法

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著者 (1件)：
資料名：
巻： 76 号： 2 ページ： 72-78 発行年： 2002年02月20日
JST資料番号： F0106A ISSN： 0368-5918 CODEN： KKGOAG 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

標記形成法を解説した。膜成長は,凝集状態の原料カーボンブラッ...

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その他の無機化合物の薄膜 , 固体の機械的性質一般

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