文献

J-GLOBAL ID：200902139587905027   整理番号：99A0457665

苛酷な環境下で使用するセンサ用のシリコン互換材料

Silicon compatible materials for harsh environment sensors.

著者 (3件)： KROETZ G H (Daimler Benz Res. and Technol., Munich, DEU) ,  EICKHOFF M H (Daimler Benz Res. and Technol., Munich, DEU) ,  MOELLER H (Daimler Benz Res. and Technol., Munich, DEU)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： A74  号： 1/3  ページ： 182-189  発行年： 1999年04月20日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコンは機械的,電気的に優れたセンサとなるが高温環境では性...

シソーラス用語： センサ ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (2件)： 環境 ,  シリコン