空中での超音波反射信号を用いた表面計測

ROBERTSON T J; HUTCHINS D A; BILLSON D R; RAKELS J H; SCHINDEL D W

文献

J-GLOBAL ID：200902140771270172 整理番号：02A0516683

空中での超音波反射信号を用いた表面計測

Surface metrology using reflected ultrasonic signals in air.

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資料名：
巻： 39 号： 7 ページ： 479-486 発行年： 2002年04月
JST資料番号： C0379B ISSN： 0041-624X CODEN： ULTRA3 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

広帯域過渡信号を実現するために静電容量型変換器を使用して超音...

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音響信号処理

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