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J-GLOBAL ID:200902141211936392   整理番号:02A0493623

フェムト秒レーザを用いた精密構造形成

Precise Structuring Using Femtosecond Lasers.
著者 (1件):
資料名:
巻: 30  号:ページ: 221-225  発行年: 2002年05月15日 
JST資料番号: X0335A  ISSN: 0387-0200  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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現在,最高精度,最小構造寸法の材料加工用レーザ光源はフェムト...
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分類 (3件):
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レーザの応用  ,  特殊加工  ,  固体デバイス製造技術一般 
引用文献 (17件):
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タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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