文献

J-GLOBAL ID：200902141211936392   整理番号：02A0493623

フェムト秒レーザを用いた精密構造形成

Precise Structuring Using Femtosecond Lasers.

著者 (1件)： OSTENDORF A (Laser Zentrum Hannover e.V, Hannover, DEU)
資料名： レーザー研究  (レーザー学会誌)
巻： 30  号： 5  ページ： 221-225  発行年： 2002年05月15日 
JST資料番号： X0335A  ISSN： 0387-0200  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 現在,最高精度,最小構造寸法の材料加工用レーザ光源はフェムト...

シソーラス用語： *マイクロマシニング ,...
準シソーラス用語： レーザフルエンス

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分類 (3件)： レーザの応用  (BD04100V) ,  特殊加工  (QC04000Y) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (17件)：

• 1) H. K. Toenshoff, A. Ostendorf, S. Nolte, F. Korte, and T. Bauer: Proceedings of SPIE: First International Symposium on Laser Precision Microfabrication 4088 (2000) p. 136.
• 2) M. Lenzner, J. Krueger, S. Sartania, Z. Cheng, C. Spielmann, G. Mourou, W. Kautek, and F. Krausz: Phys. Rev. Lett. 80 (1998) 4076.
• 3) R. Sauerbrey and G. H. Petit: Appl. Phys. Lett. 55 (1989) 421.
• 4) W. L. Kruer: The Physics of Laser Plasma Interaction (Addison-Wesley, Redwood City, Ca, 1988).
• 5) B. C. Stuart, M. D. Feit, A. M. Rubenchick, B. W. Shore, and M. D. Perry: Phys. Rev. Lett. 74 (1995) 2248.

タイトルに関連する用語 (3件)： フェムト秒レーザ ,  精密 ,  構造形成