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J-GLOBAL ID：200902141928990413   整理番号：94A0179178

薄膜初期成長過程のTEMによる微細構造観察

Initial Stage of Thin Film Observed by TEM.

著者 (5件)： 西田貴之 (東洋大 工) ,  金井修一郎 (東洋大 工) ,  島田博幸 (東洋大 工) ,  柏木邦宏 (東洋大 工) ,  村山洋一 (東洋大 工)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 54th  号： 2  ページ： 422  発行年： 1993年09月 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (6件)： 薄膜 ,  初期 ,  成長過程 ,  TEM ,  微細構造 ,  観察