研究者
J-GLOBAL ID:200901002751689129
更新日: 2013年01月15日
柏木 邦宏
カシワギ クニヒロ | Kashiwagi Kunihiro
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研究分野 (1件):
電気電子材料工学
研究キーワード (6件):
薄膜工学
, 電子物性
, 電子材料
, Thin Film Engineering
, Physical Electronics
, Electronic Material
競争的資金等の研究課題 (7件):
-
プラズマプロセスにより形成された金属/Si界面の構造
有機-無機複合膜に関する基礎研究
プラズマプロセスにより形成された薄膜の初期成長過程のTEM観察
Structure of Metal thin films formed at the interface with Si by plasma process
Basic Study on Organic-Inorganic Compound Thin Film
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MISC (12件):
Oxygenation Process of Ti-O Films Formed by Reactive Ion Plating. Jpn. J. Appl. Phys. 2001. 40. 5A. L468-L470
Application of plasma polymerized thin films to chemical and bio sensors. The Japan Society of Applied Physics. 1999. 34. 17-22
Structure of Au and Ti thin film formed at the interface with Si by the plasma process. Thin Solid Films. 1993. 222,105-108
Hybrid Films Formed from Hexamethyldisiloxane and SiO by plasma Process. Jpn. J. Appl. Pbys. 1991. 30. 8. 1803-1807
Organic fine partides formed by plasma process. Proceedings of the 1989, China-Japan Symposium on Thin Films. 1989
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学歴 (2件):
- 1965 工学院大学 工学部 電気工
- 1965 工学院大学
学位 (1件):
工学博士 (大阪大学)
経歴 (1件):
東洋大学 理工学部 電気電子情報工学科 教授
委員歴 (1件):
A.VS(American Vacuum Society) 会員
所属学会 (5件):
A.VS(American Vacuum Society)
, 日本材料科学会
, 表面技術協会
, 電気学会
, 応用物理学会
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