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J-GLOBAL ID:200902142009328395   整理番号:93A0361675

微細電子材料の接合現象とプロセス制御に関する研究 (第3報) 低温反応接合材利用による接合プロセスの低温化および接合品質の向上

Bonding Phenomena and Process Control on Electronic Materials with Fine Size(Third Report). Improvement of the Bond Quality and Effect of Bonding Temperature Lowering by Applying the Inserted Metal of Low Melting Point.
著者 (3件):
資料名:
巻: 11  号:ページ: 202-208  発行年: 1993年02月 
JST資料番号: Y0413A  ISSN: 0288-4771  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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チップ温度と一定に制御できるヒータチップ接合法を採用し,接合...
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分類 (2件):
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ろう付  ,  固体デバイス製造技術一般 
引用文献 (4件):

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