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J-GLOBAL ID:200902142289434004   整理番号:02A0123758

酸化誘起積層欠陥リング近傍の微小酸素析出物の観察とそれらの薄いゲート酸化膜破壊に及ぼす影響

Observation of Micro-Oxygen Precipitates in the Vicinity of the Oxidation-Induced Stacking Fault Ring and Their Effects on Thin Gate Oxide Breakdown.
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資料名:
巻: 40  号: 12A  ページ: L1286-L1289  発行年: 2001年12月01日 
JST資料番号: F0599B  ISSN: 0021-4922  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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結晶に起因する粒子(COP)フリー又はCOPの少ないウエハを...
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固体デバイス計測・試験・信頼性 
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