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J-GLOBAL ID：200902143312823818   整理番号：00A0223372

Si(001)上の酸化ジルコニウム超薄膜の構造及び安定性

Structure and stability of ultrathin zirconium oxide layers on Si(001).

著者 (3件)： COPEL M (IBM Res. Div., New York) ,  GRIBELYUK M (IBM Analytical Serv., New York) ,  GUSEV E (IBM Res. Div., New York)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 76  号： 4  ページ： 436-438  発行年： 2000年01月24日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ZrO₂超薄膜の構造を中間エネルギーイ...

シソーラス用語： 超薄膜 ,...

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分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： Si ,  酸化ジルコニウム ,  超薄膜 ,  安定性