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J-GLOBAL ID:200902143312823818   整理番号:00A0223372

Si(001)上の酸化ジルコニウム超薄膜の構造及び安定性

Structure and stability of ultrathin zirconium oxide layers on Si(001).
著者 (3件):
資料名:
巻: 76  号:ページ: 436-438  発行年: 2000年01月24日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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ZrO2超薄膜の構造を中間エネルギーイ...
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酸化物薄膜 
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