脆性材料の機械加工における材料除去機構の制御

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J-GLOBAL ID：200902143495568269 整理番号：97A0646484

Control of material removal mechanism in machining of brittle material.

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資料名：
巻： 49 号： 7 ページ： 731-737 発行年： 1997年07月
JST資料番号： F0147A ISSN： 0368-5713 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

セラミックスやガラス等の硬脆性材料を高精度で高能率に加工する...

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切削一般 , 固体デバイス製造技術一般

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