光源としてのプラズマ 基礎と最近の研究から エキシマランプ

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J-GLOBAL ID：200902143541859648 整理番号：96A0459724

光源としてのプラズマ基礎と最近の研究からエキシマランプ

Plasma for Light Sources. Fundamentals and Recent Researches. Excimer Lamps.

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著者 (1件)：
資料名：
巻： 72 号： 4 ページ： 311-314 発行年： 1996年04月
JST資料番号： G0114A ISSN： 0918-7928 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

光化学反応を使うドライ洗浄,表面改質,CVDなどに使用される...

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光源,照明器具

引用文献 (17件)：

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