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J-GLOBAL ID：200902143611506187   整理番号：02A0123763

SrOバッファ層を介してSi上にパルスレーザ蒸着したSrRuO₃膜の微細構造

Microstructural Investigation of Pulsed-Laser-Deposited SrRuO₃ Films on Si with SrO Buffer Layers.

著者 (6件)： CHEN Y (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  KOIKE J (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  HIGUCHI T (SEIKO EPSON Corp., Nagano, JPN) ,  IWASHITA S (SEIKO EPSON Corp., Nagano, JPN) ,  ISHIDA M (SEIKO EPSON Corp., Nagano, JPN) ,  SHIMODA T (SEIKO EPSON Corp., Nagano, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 40  号： 12A  ページ： L1305-L1307  発行年： 2001年12月01日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： SrOをバッファ層として導電性SrRuO<sub>3</su...

シソーラス用語： ストロンチウム化合物 ,...

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分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (9件)：

• 1) Q. Gan, R. A. Rao and C. B. Eom: Appl. Phys. Lett. 70 (1997) 1962.
• 2) J. C. Jiang, X. Q. Pan and C. L. Chen: Appl. Phys. Lett. 72 (1998) 909.
• 3) P. Lu, F. Chu, Q. X. Jia and T. E. Mitchell: J. Mater. Res. 13 (1998) 2302.
• 4) J. C. Jiang and X. Q. Pan: Philos. Mag. Lett. 80 (2000) 271.
• 5) C. W. Jones, P. D. Battle, P. Lightfoot and W. T. A. Harrison: Acta Cryst. C 45 (1989)365.

タイトルに関連する用語 (5件)： SrO ,  バッファ層 ,  Si ,  パルスレーザ蒸着 ,  微細構造