超薄型ゲート絶縁膜上で仕事関数を制御したメタルゲート電極

NAKAJIMA K; AKASAKA Y; KANEKO M; TAMAOKI M; YAMADA Y; SHIMIZU T; OZAWA Y; SUGURO K

文献

J-GLOBAL ID：200902143772419721 整理番号：00A0147202

超薄型ゲート絶縁膜上で仕事関数を制御したメタルゲート電極

Work Function Controlled Metal Gate Electrode on Ultrathin Gate Insulators.

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Digest of Technical Papers. Symposium on VLSI Technology (Digest of Technical Papers. Symposium on VLSI Technology)

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巻： 1999 ページ： 95-96 発行年： 1999年
JST資料番号： A0035B ISSN： 0743-1562 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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