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J-GLOBAL ID：200902143847126830   整理番号：99A0723837

原子間力顕微鏡のカンチレバー振動による直接のナノメータスケールパターニング

Direct nanometer-scale patterning by the cantilever oscillation of an atomic force microscope.
著者 (6件)：
HYON C K

HYON C K について

(Korea Univ., Seoul, KOR)

Korea Univ., Seoul, KOR について

, 
CHOI S C

CHOI S C について

(Korea Univ., Seoul, KOR)

Korea Univ., Seoul, KOR について

, 
HWANG S W

HWANG S W について

(Univ. Seoul, Seoul, KOR)

Univ. Seoul, Seoul, KOR について

, 
AHN D

AHN D について

(Univ. Seoul, Seoul, KOR)

Univ. Seoul, Seoul, KOR について

, 
KIM Y

KIM Y について

(Korea Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR)

Korea Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR について

, 
KIM E K

KIM E K について

(Korea Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR)

Korea Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR について


資料名：
Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)

Applied Physics Letters について


巻： 75  号： 2  ページ： 292-294  発行年： 1999年07月12日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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原子間力顕微鏡(AFM)のチップ振動を利用したレジストを使わ...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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ヒ化ガリウム

ヒ化ガリウム について

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分類 (1件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

タイトルに関連する用語 (2件)：
タイトルに関連する用語
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原子間力顕微鏡

原子間力顕微鏡 について

, 
カンチレバー

カンチレバー について


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