全アラインメント誤差因子の新しい最適化法

文献

J-GLOBAL ID：200902144228282573 整理番号：98A0247943

Novel Optimization of Total Alignment Error Factors.

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資料名：
巻： 36 号： 12B ページ： 7512-7516 発行年： 1997年12月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

全アラインメント誤差を低減する新しい最適化法を提案した。計測...

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固体デバイス製造技術一般

引用文献 (3件)：

UZAWA, S. Proc.SPIE. 1990, 1261, 325
INA, H. The Japan Society of Applied Physics, Ext.Abstr.(The 57th Autumn Meet.). 1996
KANDA, T. Proc.SPIE. 1997, 3051

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