高分子のRFスパッタリングとその可能な応用

文献

J-GLOBAL ID：200902144833060728 整理番号：01A0073784

RF sputtering of polymers and its potential application.

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著者 (1件)：
資料名：
巻： 59 号： 2/3 ページ： 594-599 発行年： 2000年11月
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

ポリテトラフロロエチレン(PTFE)やポリイミドなどの高分子...

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単独重合 , 有機化合物の薄膜

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