面内追従型双安定マイクロ機構のチップ上作動

BAKER M S; HOWELL L L

文献

J-GLOBAL ID：200902144913838851 整理番号：02A0862291

面内追従型双安定マイクロ機構のチップ上作動

On-Chip Actuation of an In-Plane Compliant Bistable Micromechanism.

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資料名：
巻： 11 号： 5 ページ： 566-573 発行年： 2002年10月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

マイクロ双安定機構はマイクロバルブ,マイクロスイッチ,リレイ...

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継電器・スイッチ

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