低温におけるZrB<sub>2</sub>の遠隔プラズマ化学蒸着

文献

J-GLOBAL ID：200902145011184839 整理番号：00A0300376

低温におけるZrB₂の遠隔プラズマ化学蒸着

Low temperature ZrB₂ remote plasma enhanced chemical vapor deposition.

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資料名：
巻： 359 号： 1 ページ： 68-76 発行年： 2000年01月24日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

ZrB₂薄膜をジルカロイ4基板上に標記...

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その他の無機化合物の薄膜 , 金属材料へのセラミック被覆

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