ポリシランのUV-光分解を用いる新規なマイクロレンズアレイの作製

SAKURAI Y; OKUDA S; NAGAYAMA N; YOKOYAMA M

文献

J-GLOBAL ID：200902145321893872 整理番号：01A0453181

ポリシランのUV-光分解を用いる新規なマイクロレンズアレイの作製

Novel microlens array fabrication utilizing UV-photodecomposition of polysilane.

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資料名：
巻： 11 号： 4 ページ： 1077-1080 発行年： 2001年04月
JST資料番号： W0204A ISSN： 0959-9428 CODEN： JMACEP 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

UV光を照射することによってパターン化したポリシラン薄膜上に...

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光デバイス一般 , 光化学反応

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