極めて低い温度での電子サイクロトロン共鳴プラズマ化学蒸着と高速熱処理によって調製したRu底電極上の(Ba,Sr)TiO<sub>3</sub>膜の電気特性

SONE S; AKAHANE R; ARITA K; YABUTA H; YAMAMICHI S; YOSHIDA M; KATO Y

文献

J-GLOBAL ID：200902145518168940 整理番号：99A0497688

極めて低い温度での電子サイクロトロン共鳴プラズマ化学蒸着と高速熱処理によって調製したRu底電極上の(Ba,Sr)TiO₃膜の電気特性

Electrical Properties of (Ba, Sr)TiO₃ Films on Ru Bottom Electrodes Prepared by Electron Cyclotron Resonance Plasma Chemical Vapor Deposition at Extremely Low Temperature and Rapid Thermal Annealing.

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資料名：
巻： 38 号： 4B ページ： 2200-2204 発行年： 1999年04月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

標題(Ba,Sr)TiO₃(BST)膜...

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酸化物薄膜

引用文献 (14件)：

(1) K. Koyama, T. Sakuma, S. Yamamichi, H. Watanabe, H. Aoki, S. Ohya, Y. Miyasaka and T. Kikkawa: 1991 Int. Electron Device Meet. Tech. Dig. Washington, 1991 (IEEE, New York, 1991) p. 823.
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極めて低い温度での電子サイクロトロン共鳴プラズマ化学蒸着と高速熱処理によって調製したRu底電極上の(Ba,Sr)TiO3膜の電気特性

極めて低い温度での電子サイクロトロン共鳴プラズマ化学蒸着と高速熱処理によって調製したRu底電極上の(Ba,Sr)TiO₃膜の電気特性