a:DLC膜の物理的性質とその生成パラメータと基板タイプ依存性

文献

J-GLOBAL ID：200902145903990791 整理番号：99A0604343

Physical properties of a:DLC films and their dependence on parameters of deposition and type of substrate.

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資料名：
巻： 8 号： 6 ページ： 1050-1056 発行年： 1999年06月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

Si,サファイヤ及びGe基板への非晶質ダイヤモンド状炭素膜:...

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半導体薄膜

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