文献
J-GLOBAL ID：200902146087729130
整理番号：95A0830573
多重極補正器による低電圧SEMにおける収差補正
Aberration correction in a low voltage SEM by a multipole corrector.
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著者 (2件)：
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資料名：
巻：
363
号：
1/2
ページ：
316-325
発行年：
1995年09月01日
JST資料番号：
D0208B
ISSN：
0168-9002
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
原著論文
発行国：
オランダ (NLD)
言語：
英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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球面及び色収差のための四重極/八重極補正器をもつ低ビームエネ...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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分類 (1件)：
分類
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電子顕微鏡,イオン顕微鏡
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