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J-GLOBAL ID：200902146350520011   整理番号：97A0742898

低圧有機金属化学蒸着により成長させた透明導電性のGaドープZnO膜

Transparent and conductive Ga-doped ZnO films grown by low pressure metal organic chemical vapor deposition.

著者 (6件)： LI Y (Structured Materials Industries Inc., New Jersey) ,  TOMPA G S (Structured Materials Industries Inc., New Jersey) ,  LIANG S (Rutgers Univ., New Jersey) ,  GORLA C (Rutgers Univ., New Jersey) ,  LU Y (Rutgers Univ., New Jersey) ,  DOYLE J (Aerospace Display Systems, Pennsylvania)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 15  号： 3 Pt 1  ページ： 1063-1068  発行年： 1997年05月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高速回転ディスク反応炉を使用して3in×4inのCornin...

シソーラス用語： 酸化亜鉛 ,...
準シソーラス用語： 平板ディスプレイ

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分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  半導体結晶の電気伝導  (BM03043X)

タイトルに関連する用語 (7件)： 低圧 ,  有機金属化学蒸着 ,  成長 ,  導電性 ,  Ga ,  ドープ ,  ZnO