a-SiN<sub>0.58</sub>:H/a-SiN<sub>0.72</sub>:H superlattices prepared by ion beam assisted reactive deposition.

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J-GLOBAL ID：200902146419094311 整理番号：93A0587199

a-SiN_0.58:H/a-SiN_0.72:H superlattices prepared by ion beam assisted reactive deposition.

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巻： 155 号： 3 ページ： 221-230 発行年： 1993年05月
JST資料番号： D0642A ISSN： 0022-3093 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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