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J-GLOBAL ID：200902146423324526   整理番号：94A0233596

表面波維持アルゴンプラズマの電子の運動力学への励起原子の影響

On the influence of excited atoms on the electron kinetics of a surface wave sustained argon plasma.
著者 (2件)：
BOEHLE A

BOEHLE A について

(Univ. Bochum, Bochum, DEU)

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, 
KORTSHAGEN U

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(Univ. Bochum, Bochum, DEU)

Univ. Bochum, Bochum, DEU について


資料名：
Plasma Sources Science and Technology  (Plasma Sources Science and Technology)

Plasma Sources Science and Technology について


巻： 3  号： 1  ページ： 80-87  発行年： 1994年02月 
JST資料番号： W0479A  ISSN： 0963-0252  CODEN： PSTEEU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)
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抄録/ポイント
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自己無撞着モデルで調べ,電子エネルギー分布関数(EEDF),...
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プラズマ一般 
(BJ02010B)

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励起

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