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J-GLOBAL ID:200902146899153800   整理番号:02A0807913

CVDダイヤモンドドリルの単結晶Si穴あけ加工ヘの適用

Application of CVD Diamond Coated Drills for Drilling of Single Crystal Si.
著者 (5件):
資料名:
巻: 68  号: 10  ページ: 1362-1366  発行年: 2002年10月05日 
JST資料番号: F0268A  ISSN: 0912-0289  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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著者らは超硬合金へのCVDダイヤモンド膜合成技術と硬脆材料加...
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分類 (2件):
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