CVDダイヤモンドドリルの単結晶Si穴あけ加工ヘの適用

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J-GLOBAL ID：200902146899153800 整理番号：02A0807913

Application of CVD Diamond Coated Drills for Drilling of Single Crystal Si.

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巻： 68 号： 10 ページ： 1362-1366 発行年： 2002年10月05日
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

著者らは超硬合金へのCVDダイヤモンド膜合成技術と硬脆材料加...

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固体デバイス製造技術一般 , その他の切削

引用文献 (30件)：

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