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J-GLOBAL ID：200902147167969960   整理番号：99A0927941

ピエゾ抵抗の検出と電磁気の励起によるシリコンのマイクロマシニングしたジャイロスコープの改良設計

Improved Design of a Silicon Micromachined Gyroscope with Piezoresistive Detection and Electromagnetic Excitation.

著者 (3件)： GR<span style=text-decoration:overline> ́E</span>TILLAT F (Univ. Neuch<span style=text-decoration:overline>^a</span>tel, Neuch<span style=text-decoration:overline>^a</span>tel, CHE) ,  GR<span style=text-decoration:overline> ́E</span>TILLAT M-A (Univ. Neuch<span style=text-decoration:overline>^a</span>tel, Neuch<span style=text-decoration:overline>^a</span>tel, CHE) ,  DE ROOIJ N F (Univ. Neuch<span style=text-decoration:overline>^a</span>tel, Neuch<span style=text-decoration:overline>^a</span>tel, CHE)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 8  号： 3  ページ： 243-250  発行年： 1999年09月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロマシニングは小型化,低コスト化を可能にするので,慣性...

シソーラス用語： 圧抵抗効果 ,...

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分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (7件)： ピエゾ抵抗 ,  電磁気 ,  励起 ,  シリコン ,  マイクロマシニング ,  ジャイロスコープ ,  設計