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J-GLOBAL ID：200902147394092242   整理番号：01A0273612

熱型マイクロセンサの技術動向

著者 (1件)： 木村光照 (東北学院大 工)
資料名： Savemation Review  (Savemation Review)
巻： 19  号： 特別号  ページ： 4-12  発行年： 2001年01月20日 
JST資料番号： L0532A  ISSN： 0289-4041  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 熱型マイクロセンサの基礎を解説し,フローセンサ,湿度センサ,...

シソーラス用語： *センサ ,...

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分類 (2件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  その他の固体デバイス  (NC03150A)

タイトルに関連する用語 (2件)： マイクロセンサ ,  技術動向