銅BEOLを使用した高性能0.18μm論理回路技術へのトレンチ型DRAMの集積化

文献

J-GLOBAL ID：200902147477127374 整理番号：99A0420140

Integration of Trench DRAM into a High-Performance 0.18μm Logic Technology with Copper BEOL.

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=99A0420140&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=99A0420140&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0829B") }}

著者 (9件)：

CROWDER S

CROWDER S について

(IBM Microelectronics Div., NY)