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J-GLOBAL ID：200902147680300421   整理番号：94A0651707

スパッタTiO2薄膜の湿度感度

Humidity sensitivity of sputtered TiO2 thin films.
著者 (4件)：
BEARZOTTI A

BEARZOTTI A について

(National Research Council of Italy, CNR, Rome, ITA)

National Research Council of Italy, CNR, Rome, ITA について

, 
BIANCO A

BIANCO A について

(Univ. Rome ‘Tor Vergata’, Rome, ITA)

Univ. Rome ‘Tor Vergata’, Rome, ITA について

, 
MONTESPERELLI G

MONTESPERELLI G について

(Univ. Rome ‘Tor Vergata’, Rome, ITA)

Univ. Rome ‘Tor Vergata’, Rome, ITA について

, 
TRAVERSA E

TRAVERSA E について

(Univ. Rome ‘Tor Vergata’, Rome, ITA)

Univ. Rome ‘Tor Vergata’, Rome, ITA について


資料名：
Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)

Sensors and Actuators. B. Chemical について


巻： 19  号： 1/3  ページ： 525-528  発行年： 1994年04月 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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Ti,TiO2のターゲットを用い,酸素...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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湿度センサ

湿度センサ について

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分類 (3件)：
分類
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分析機器 
(CC02020S)

分析機器 について

,  湿度測定,湿度計 
(AD06020V)

湿度測定,湿度計 について

,  酸化物薄膜 
(BK14050P)

酸化物薄膜 について

タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
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TiO2

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薄膜

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湿度感度

湿度感度 について


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