n型6H炭化シリコン上に成長した熱酸化物の電気的特性

ALOK D; MCLARTY P K; BALIGA B J

文献

J-GLOBAL ID：200902148070388145 整理番号：94A0540255

n型6H炭化シリコン上に成長した熱酸化物の電気的特性

Electrical properties of thermal oxide grown on n-type 6H-silicon carbide.

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巻： 64 号： 21 ページ： 2845-2846 発行年： 1994年05月23日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

金属/熱酸化物/n型6H炭化シリコン中の電流伝導を測定した。...

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金属-絶縁体-半導体構造

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