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J-GLOBAL ID：200902148258352792   整理番号：00A0582754

シリコンのマイクロマシニングによる超音波変換器

Silicon Micromachined Ultrasonic Transducers.

著者 (7件)： KHURI-YAKUB B T (Stanford Univ., CA, USA) ,  CHENG C-H (Stanford Univ., CA, USA) ,  DEGERTEKIN F-L (Stanford Univ., CA, USA) ,  ERGUN S (Stanford Univ., CA, USA) ,  HANSEN S (Stanford Univ., CA, USA) ,  JIN X-C (Stanford Univ., CA, USA) ,  ORALKAN O (Stanford Univ., CA, USA)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 39  号： 5B  ページ： 2883-2887  発行年： 2000年05月30日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロマシニングによるキャパシタ型超音波変換器(cMUTs...

シソーラス用語： *ケイ素 ,...

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分類 (1件)： 音響変換器,その他の機器  (BB03060N)

引用文献 (8件)：

• 1) W. Khul, G. R. Schodder and F. K. Schodder: Acustica 4 (1954) 520.
• 2) M. I. Haller and B. T. Khuri-Yakub: IEEE Trans. UFFC, 43 (1996) 1.
• 3) I. Ladabaum, T. Soh, X. C. Jin, A. Atalar and B. T. Khuri-Yakub: IEEE Trans. UFFC, 45 (1998) 698.
• 4) W. P. Mason: Electromechanical Transducers and Wave Filters (1948) 2nd ed.
• 5) X. C. Jin, I. Ladabaum and B. T. Khuri-Yakub: IEEE/ASME J. Micro-Eelectro-Mechanical Syst. 7 (1998) 295.

タイトルに関連する用語 (3件)： シリコン ,  マイクロマシニング ,  超音波変換器