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J-GLOBAL ID:200902148733140207   整理番号:02A0839968

無水塩化アルミニウムとエチレンジアミンから合成した有機前駆体を経由する窒化アルミニウム粉体生成機構

Formation Mechanism of Aluminum Nitride Powder via Organic Precursor Prepared from Anhydrous Aluminum Chloride and Ethylenediamine.
著者 (4件):
資料名:
巻: 32  号: 59  ページ: 185-190  発行年: 2002年07月 
JST資料番号: S0660A  ISSN: 0286-0902  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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熱伝導率の高い窒化アルミニウム(AlN)製IC基板を得るため...
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セラミック・陶磁器の製造 
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