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J-GLOBAL ID：200902148965282830   整理番号：96A0739279

銅の化学的機械的研磨のためのアルミナスラリーの安定化

Stabilization of Alumina Slurry for Chemical-Mechanical Polishing of Copper.

著者 (3件)： LUO Q (Clarkson Univ., New York) ,  CAMPBELL D R (Clarkson Univ., New York) ,  BABU S V (Clarkson Univ., New York)
資料名： Langmuir  (Langmuir)
巻： 12  号： 15  ページ： 3563-3566  発行年： 1996年07月24日 
JST資料番号： A0231B  ISSN： 0743-7463  CODEN： LANGD5  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸性媒体中での銅の化学的機械的研磨(CMP)のために用いられ...

シソーラス用語： アルミナ ,...
準シソーラス用語： ベンゾトリアゾール

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分類 (1件)： 固-液界面  (CB12050B)

物質索引 (1件)： ベンゾトリアゾール

タイトルに関連する用語 (5件)： 銅 ,  化学的機械的研磨 ,  アルミナ ,  スラリー ,  安定化