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J-GLOBAL ID：200902149041790844   整理番号：01A0047479

摩擦力顕微鏡を用いた微細機械加工とエッチングの併用によるマスクレスパターン成形

Maskless pattern forming by combined use of micro machining and etching using the frictional force microscope.
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著者 (1件)：
芦田極

芦田極 について

(機械技研)

機械技研 について


資料名：
機械研News  (機械研ニュース)

機械研News について


号： 11  ページ： 4-7  発行年： 2000年 
JST資料番号： G0033A  ISSN： 0286-2271  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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ナノメータスケールの機械加工現象を理解するために,走査型プロ...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*マイクロマシニング

マイクロマシニング について

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シソーラス用語/準シソーラス用語
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パターニング

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分類 (1件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

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タイトルに関連する用語 (5件)：
タイトルに関連する用語
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摩擦力顕微鏡

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微細

微細 について

, 
機械加工

機械加工 について

, 
エッチング

エッチング について

, 
併用

併用 について


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