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J-GLOBAL ID：200902149387042828   整理番号：00A0154363

p⁺薄膜と金バックプレートを使う高感度音響変換器

High sensitivity acoustic transducers with thin p+ membranes and gold back-plate.

著者 (7件)： KABIR A E (National Semiconductor, CA, USA) ,  BASHIR R (Purdue Univ., IN, USA) ,  BERNSTEIN J (Charles Stark Draper Lab., MA, USA) ,  DE SANTIS J (National Semiconductor, CA, USA) ,  MATHEWS R (National Semiconductor, CA, USA) ,  O’BOYLE J O (National Semiconductor, CA, USA) ,  BRACKEN C (National Semiconductor, CA, USA)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： A78  号： 2/3  ページ： 138-142  発行年： 1999年12月14日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 圧力センサの特別な例として位置付けられる音響変換器(マイクロ...

シソーラス用語： *マイクロホン ,...

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分類 (1件)： オーディオ機器  (NC06010U)

タイトルに関連する用語 (5件)： 薄膜 ,  金 ,  バック ,  高感度 ,  音響変換器