マグネトロン直結型マイクロ波誘起プラズマ光源の試作とその発光特性

前田愛明; 小松敏行; 荒木勉; 内田照雄

文献

J-GLOBAL ID：200902149945192459 整理番号：97A0512150

マグネトロン直結型マイクロ波誘起プラズマ光源の試作とその発光特性

Design and performance of a stable microwave-induced plasma light source directly coupled with a magnetron.

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巻： 46 号： 2 ページ： 61-66 発行年： 1997年04月
JST資料番号： F0007A ISSN： 0038-7002 CODEN： BUKKAT 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

マイクロ波誘起プラズマ(MIP)は効率の良い分析用光源やイオ...

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光源 , プラズマ装置 , 分光分析

引用文献 (5件)：

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