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J-GLOBAL ID：200902150384249772   整理番号：94A0430430

ジシラニル-アミン 窒化けい素のプラズマ増強化学蒸着(PE-CVD)に対する単一前駆体としての構造単位Si-Si-Nを持つ化合物

Disilanyl-amines-Compounds Comprising the Structural Unit Si-Si-N, as Single-Source Precursors for Plasma-Enhanced Chemical Vapour Deposition (PE-CVD) of Silicon Nitride.

著者 (4件)： SCHUH H (Technischen Univ. Muenchen, Garching) ,  SCHLOSSER T (Technischen Univ. Muenchen, Garching) ,  BISSINGER P (Technischen Univ. Muenchen, Garching) ,  SCHMIDBAUR H (Technischen Univ. Muenchen, Garching)
資料名： Zeitschrift fuer Anorganische und Allgemeine Chemie  (Zeitschrift fuer Anorganische und Allgemeine Chemie)
巻： 619  号： 8  ページ： 1347-1352  発行年： 1993年08月 
JST資料番号： E0429A  ISSN： 0044-2313  CODEN： ZAACAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 窒化けい素のPE-CVDへの可能性を持つ単一前駆体として,S...

シソーラス用語： 無機材料 ,...

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分類 (3件)： 非金属化合物  (CD01070R) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  その他の無機化合物の結晶構造  (BK07030J)

タイトルに関連する用語 (8件)： アミン ,  窒化けい素 ,  プラズマ増強化学蒸着 ,  PE ,  CVD ,  前駆体 ,  構造単位 ,  Si