薄膜沈着のためのエーロゾル反応器とClをドープしたZnS薄膜への応用

文献

J-GLOBAL ID：200902150513193800 整理番号：94A0036237

Aerosol reactors for thin film deposition and their application of ZnS:Cl doped films.

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資料名：
巻： 24 号： Suppl 1 ページ： S321-S322 発行年： 1993年
JST資料番号： D0776A ISSN： 0021-8502 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

よどみ点流通型と高温壁鉛直型反応器の2種類を用いZnCl<s...

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その他の無機化合物の薄膜 , 薄膜成長技術・装置 , エーロゾル

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