DLCダイヤモンド膜  DLC膜の密着性向上技術

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J-GLOBAL ID：200902151547187652 整理番号：02A0909712

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資料名：
巻： 47 号： 11 ページ： 809-814 発行年： 2002年11月15日
JST資料番号： F0390A ISSN： 0915-1168 CODEN： TORAEO 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

PVD(物理的蒸着)法やCVD(化学的蒸着)法を利用する表面...

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その他の無機化合物の薄膜 , 潤滑一般

引用文献 (17件)：

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