文献
J-GLOBAL ID：200902136755672239 整理番号：00A0517857
表面技術が関わる薄膜の応力 気相膜の特性と応力
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著者 (1件)：
市村博司
市村博司 について
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(
住友金属鉱山 中研
)
住友金属鉱山 中研 について
名寄せID(JGON) 201551000096626955 ですべてを検索
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資料名：
表面技術 (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
表面技術 について
JST資料番号 G0441B ですべてを検索
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巻：
51
号：
4
ページ：
384-389
発行年：
2000年04月01日
JST資料番号：
G0441B
ISSN：
0915-1869
CODEN：
HYGIEX
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
解説
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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薄膜の応力は皮膜材料の諸物性に大きな影響を与える。ここでは応...
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*薄膜
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分類
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, 固体の機械的性質一般
(BL01021C)
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引用文献 (34件)：
TAKI, Y. J. Mater. Lett. 1997, 16, 553
LJUNGCRANTZ, H. J. Appl. Phys. 1995, 78, 837
YAMAMOTO, S. J. Mater. Res. 1996, 11, 1149
WINDISHMANN, H. J. Appl. Phys. 1987, 62, 1800
DAVIS, C. A. Thin Solid Films. 1993, 226, 30
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タイトルに関連する用語 (3件)：
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