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J-GLOBAL ID：200902152189890857   整理番号：98A0657669

Si上のSiO₂超薄膜における重水素の核反応分析

Nuclear reaction analysis of deuterium in ultrathin films of SiO₂ on Si.

著者 (7件)： BAUMVOL I J R (Univ. Federal do Rio Grande do Sul, RS, BRA) ,  STEDILE F C (UFRGS Av. Bento Goncalves, Porto Alegre, BRA) ,  RADTKE C (UFRGS Av. Bento Goncalves, Porto Alegre, BRA) ,  FREIRE F L JR (PUC-Rio, Rio de Janeiro, BRA) ,  GUSEV E (Rutgers Univ., NJ, USA) ,  GREEN M L (Bell Lab. Lucent Technol., NJ, USA) ,  BRASEN D (Bell Lab. Lucent Technol., NJ, USA)
資料名： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 136/138  ページ： 204-208  発行年： 1998年03月 
JST資料番号： H0899A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： D₂過剰な環境で熱処理によって重水素を...

シソーラス用語： *核反応分析 ,...

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分類 (2件)： 無機物質中の元素の放射化学的分析  (CC06022C) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： Si ,  SiO2 ,  超薄膜 ,  重水素 ,  核反応分析