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J-GLOBAL ID：200902152294956146   整理番号：99A0694381

モンテカルロ法と拡散法を組み合わせたばあいの高圧スパッタリングのハイブリッドシミュレーション

A hybrid simulation of high pressure sputtering, combining the Monte Carlo method and the diffusive approach.

著者 (2件)： NAKANO T (Seikei Univ., Tokyo, JPN) ,  BABA S (Seikei Univ., Tokyo, JPN)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 343/344  ページ： 24-26  発行年： 1999年04月 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高圧スパッタ蒸着における粒子輸送のシミュレーションモデルを提...

シソーラス用語： *スパッタリング ,...

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分類 (1件)： 薄膜一般  (BK14010X)

タイトルに関連する用語 (5件)： モンテカルロ法 ,  拡散 ,  高圧 ,  スパッタリング ,  ハイブリッドシミュレーション