中野武雄

ナカノタケオ | Nakano Takeo

所属機関・部署：
職名：教授
ホームページURL (1件)： http://surf.ml.seikei.ac.jp/~nakano/

研究分野 (2件)：応用物理一般 , 薄膜、表面界面物性

研究キーワード (3件)：薄膜プロセス , スパッタリング , 薄膜物性

競争的資金等の研究課題 (12件)：

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論文 (43件)：

Takeo Nakano, Kosuke Kimura, Yuto Iijima, Masato Takeuchi, Kei Oya, Masayoshi Nagao, Hisashi Ohsaki. Linear Relationship between Reactive Gas Flow Rate and Target Power at Mode Transitions in Reactive Sputtering. e-Journal of Surface Science and Nanotechnology. 2024. 22. 3. 199-206
Md. Suruz Mian, Takeo Nakano, Kunio Okimura. Improvement of the uniformity of structural and electrical properties of transparent conductive Al-doped ZnO thin films by inductively coupled plasma-assisted radio frequency magnetron sputtering. Thin Solid Films. 2023. 769. 139752-139752
Md. Suruz Mian, Riko Yagi, Kei Oya, Takeo Nakano. Coloring and Bleaching Properties of 500-1000 nm-Thick Electrochromic Tungsten Oxide Films Deposited by Reactive Direct Current Magnetron Sputtering. physica status solidi (a). 2021. 2100646-2100646
霜田直宏, 小出奈央, 本間徹生, 中野武雄, 張晋, 脇田英延, 里川重夫. ジメチルスルフィド分解用 NiO/γ-Al₂O₃ 触媒の活性サイトの局所構造解析-X線吸収分光分析を用いたNi種の硫化挙動-. 2020. 63. 6. 365-374
Katsuya Iuchi, Kei Oya, Kazuki Hosoya, Kazuki Sasaki, Yuko Sakurada, Takeo Nakano, Hisashi Hisatomi. Different morphologies of human embryonic kidney 293T cells in various types of culture dishes. Cytotechnology. 2020. 72. 1. 131-140

MISC (32件)：

Hiromasa Murata, Shun Kondo, Md. Suruz Mian, Katsuhisa Murakami, Takeo Nakano, Masayoshi Nagao. HfN and Hf Spindt-Type FEA Fabrication Using Triode Reactive High Power Pulsed Magnetron Sputtering. 2024 37th International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC). 2024. 1-2
中野武雄, 小森文夫, 福谷克之, 谷本育律. 第9回真空・表面科学アジア・オーストラリア会議(VASSCAA-9),およびVASSCAA国際運営委員会とIUVSTA理事会の報告. 表面と真空. 2019. 62. 1. 48-50
谷口日向, 大家渓, 中野武雄, 長尾昌善, 大崎壽, 村上勝久. 大電力パルススパッタ法によるスピント型陰極作製における放電ガス(アルゴン、クリプトン)の効果. 電子情報通信学会技術研究報告. 2018. 118. 263. 5-8
中野武雄. 日本真空学会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会第155回定例研究会「固体材料および薄膜中のプロトンの移動」開催報告. 表面と真空. 2018. 61. 2. 102-102
中野武雄. 大電力パルススパッタリングを用いた金属膜の構造制御 (特集薄膜成長の最前線). 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan. 2017. 38. 5. 228-233

書籍 (9件)：

講演・口頭発表等 (11件)：

Application of triode HPPMS for fabrication of Spindt-type micro vacuum electron emitter array
(HiPIMS Today 2024 2024)
大電力パルススパッタ法によるスピント型陰極作製における放電ガス(アルゴン、クリプトン)の効果
(電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス 2018)
反応性スパッタにおけるモード遷移現象の普遍性と膜物性予測
(表面科学学術講演会要旨集 2016)
非蒸発ゲッタポンプ用合金膜のスパッタ製膜
(表面科学学術講演会要旨集 2016)
反応性スパッタで製膜したチタン酸化物薄膜の表面特性と細胞接着性
(表面科学学術講演会要旨集 2016)

学歴 (2件)：

学位 (1件)：

委員歴 (8件)：

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受賞 (3件)：

所属学会 (6件)：

表面技術協会 , IEEE , 電気学会 , 日本表面真空学会 , AVS , 応用物理学会

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中野 武雄