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J-GLOBAL ID：200902152368486163   整理番号：02A0894115

2段階イミド化を経由したポリイミドのイオンビーム誘起デュアルトーンイメージング

Ion-Beam-Induced Dual-Tone Imaging of Polyimide via Two-Step Imidization.

著者 (5件)： SUZUKI Y (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN) ,  MAEKAWA Y (Japan Atomic Energy Res. Inst., Gunma, JPN) ,  YOSHIDA M (Japan Atomic Energy Res. Inst., Gunma, JPN) ,  MAEYAMA K (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN) ,  YONEZAWA N (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
資料名： Chemistry of Materials  (Chemistry of Materials)
巻： 14  号： 10  ページ： 4186-4191  発行年： 2002年10月 
JST資料番号： T0893A  ISSN： 0897-4756  CODEN： CMATEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ポリイミド(Kapton)フィルムでのデュアルトーンを,部分...

シソーラス用語： イミド化 ,...
準シソーラス用語： 橋架け ,...

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分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  その他の高分子材料  (YH07150C) ,  電子ビーム・イオンビームの応用  (BD02070X)

タイトルに関連する用語 (5件)： 段階 ,  イミド化 ,  ポリイミド ,  イオンビーム ,  誘起