水滴接触角の測定による純水処理GaAs表面の特性解析

MATSUSHITA K; FUJISAWA A; ANDO N; KOBAYASHI H; NAGANUMA H; OKUYAMA S; OKUYAMA K

文献

J-GLOBAL ID：200902152503149679 整理番号：01A0773788

水滴接触角の測定による純水処理GaAs表面の特性解析

Characterization of Pure Water-Treated GaAs Surfaces by Measuring Contact Angles of Water Droplets.

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資料名：
巻： 148 号： 8 ページ： F170-F174 発行年： 2001年08月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

純水で処理したGaAs表面の特性を接触角測定,AESおよび原...

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半導体の表面構造

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