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J-GLOBAL ID：200902152889096418   整理番号：96A0682893

1nm台の原子間力顕微鏡における高さスケールをキャリブレーションするための標準手続き

Standardized procedure for calibrating height scales in atomic force microscopy on the order of 1nm.

著者 (9件)： SUZUKI M (NTT Interdisciplinary Res. Lab., Kanagawa, JPN) ,  AOYAMA S (Tohoku Univ., Miyagi, JPN) ,  KELLY A J (Fujitsu Ltd., Kanagawa, JPN) ,  NAKANO A (Sharp Corp., Nara, JPN) ,  SAKAKIBARA Y (NTT LSI Lab., Kanagawa, JPN) ,  SUZUKI Y (Canon Inc., Kanagawa, JPN) ,  TAKAMI H (Toyo Corp., Tokyo, JPN) ,  TAKENOBU T (Olympus Optical Co. Ltd., Tokyo, JPN) ,  YASUTAKE M (Seiko Instruments Inc., Shizuoka, JPN)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 14  号： 3 Pt 1  ページ： 1228-1232  発行年： 1996年05月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： サブnm~nm台のAFMで測定された高さスケールをキャリブレ...

シソーラス用語： 原子間力顕微鏡 ,...

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分類 (2件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  固体の表面構造一般  (BK15010E)

タイトルに関連する用語 (6件)： 原子間力顕微鏡 ,  高さ ,  スケール ,  キャリブレーション ,  標準 ,  手続き