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J-GLOBAL ID：200902153334142771   整理番号：02A0625620

ガラス基板上への単結晶シリコンフィールドエミッタアレイの作製

Fabrication of Single-Crystal Silicon Field Emitter Array on Glass Substrate.

著者 (2件)： HIGA K (Oshima National Coll. Maritime Technol., Yamaguchi, JPN) ,  ASANO T (Kyushu Inst. Technol., Fukuoka, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 41  号： 6B  ページ： 4307-4310  発行年： 2002年06月30日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記アレイにおける単結晶シリコンエミッタチップを,np接合を...

シソーラス用語： *電界放出アレイ ,...
準シソーラス用語： 陽極酸化

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分類 (2件)： その他の固体デバイス  (NC03150A) ,  熱電子放出,電界放出  (BM09020S)

引用文献 (15件)：

• 1) C. A. Spindt: J. Appl. Phys. 39 (1968) 3504.
• 2) K. Betsui: Tech. Dig. 4th Int. Vacuum Microelectronics Conf. (1991) p. 26.
• 3) H. F. Gray and J. L. Show: Tech. Dig. Int. Electron Devices Meet. (IEEE, 1991) p. 26.
• 4) M. Nakamoto, T. Ono, Y. Nakamura and K. Ichimura: Tech. Dig. 7th Int. Vacuum Microelectronics Conf. (1994) p. 42.
• 5) T. Asano and J. Yasuda: Jpn. J. Appl. Phys. 35 (1996) 6632.

タイトルに関連する用語 (4件)： ガラス基板 ,  単結晶シリコン ,  フィールドエミッタアレイ ,  作製