シラン-ジクロロシラン混合物から析出した’安定な’a-Si:Hの光誘起準安定性-包括的研究

文献

J-GLOBAL ID：200902153364024072 整理番号：96A0660375

Light-induced metastability of ‘stable’ a-Si:H deposited from silane-dichlorosilane mixtures-comprehensive characterization.

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巻： 198/200 号： Pt 1 ページ： 415-418 発行年： 1996年05月
JST資料番号： D0642A ISSN： 0022-3093 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

光照射された水素化非晶質シリコンと低塩素化非晶質シリコン薄膜...

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半導体薄膜

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