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J-GLOBAL ID：200902153650925214   整理番号：93A0772731

Crystallization and decomposition of co-sputtered amorphous silicon-aluminum thin films.

著者 (2件)： KONNO T J (Stanford Univ., CA, USA) ,  SINCLAIR R (Stanford Univ., CA, USA)
資料名： Materials Chemistry and Physics  (Materials Chemistry and Physics)
巻： 35  号： 2  ページ： 99-113  発行年： 1993年09月 
JST資料番号： E0934A  ISSN： 0254-0584  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (1件)： CO