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J-GLOBAL ID:200902153650925214   整理番号:93A0772731

Crystallization and decomposition of co-sputtered amorphous silicon-aluminum thin films.

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巻: 35  号:ページ: 99-113  発行年: 1993年09月 
JST資料番号: E0934A  ISSN: 0254-0584  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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